Instalación de pulverización catódica (SPA001) Aurion Anlagentechnik B-VPA-28AUCTION#19683-48

N.º de serie: 302343, peso propio aprox. 7.000 kg, temperatura máxima 25 °C, potencia conectada 100 kVA, grúa pórtico móvil, fabricante Schilling, capacidad de carga: 1.000 kg, polipasto eléctrico de cadena, viga de grúa, dimensiones sin bombas de vacío: 6.217 x 3.500 x 2.100 mm (ancho x profundidad x altura); peso aprox. 7.000 kg; volumen de la cámara aprox. 670 l; conexión a la red eléctrica 400/230 V, 50 Hz, aprox. 100 kVA, aprox. 125 A; sustrato: 38 x 31 x 1,08 mm; palés de transporte: 416,9 x 504,5 mm con capacidad para 144 sustratos cada uno; calentamiento del sustrato hasta 250 °C; presión final < 1×10⁻⁷ hPa; gas de proceso: argón, 2 reguladores de caudal Bronkhorst F-201CS de 500 mln/min cada uno; 2 generadores de corriente continua ADL GX 150/800 de 15 kW cada uno; bombas de vacío Pfeiffer Vacuum: 4 x DUO 35, 2 x DUO 65, 2 x bombas de pistones rodantes Okta 500, 3 x bombas turbo HiPace 1200 U, 1 HiPace 2300 U; válvulas VAT; sistema de control Siemens SIMATIC S7 con Panel-PC y WinCC.