Installation de pulvérisation cathodique (SPA001) Aurion Anlagentechnik B-VPA-28AUCTION#19683-48

Référence : 302343, poids à vide env. 7 000 kg, température max. 25 °C, puissance connectée 100 kVA, grue à portique mobile, fabricant Schilling, capacité de levage 1 000 kg, palan électrique à chaîne, traverse de grue, dimensions sans pompes à vide 6 217 x 3 500 x 2 100 mm (L x P x H) ; poids d’environ 7 000 kg ; volume de la chambre d’environ 670 l ; raccordement au réseau 400/230 V, 50 Hz, environ 100 kVA, environ 125 A ; substrat : 38 × 31 × 1,08 mm ; palettes de transport : 416,9 × 504,5 mm pouvant accueillir chacune 144 substrats ; chauffage des substrats jusqu’à 250 °C ; pression finale < 1×10⁻⁷ hPa ; gaz de processus : argon, 2 régulateurs de débit Bronkhorst F-201CS de 500 mln/min chacun ; 2 générateurs à courant continu ADL GX 150/800 de 15 kW chacun ; Pompes à vide Pfeiffer Vacuum : 4 x DUO 35, 2 x DUO 65, 2 x pompes à pistons rotatifs Okta 500, 3 x pompes turbo HiPace 1200 U, 1 HiPace 2300 U ; vannes VAT ; commande Siemens SIMATIC S7 avec PC à écran tactile et WinCC.