Equipamento de pulverização catódica (SPA001) Aurion Anlagentechnik B-VPA-28AUCTION#19683-48

N.º de série: 302343, peso próprio aprox. 7 000 kg, temperatura máx. 25 °C, potência de ligação 100 kVA, grua de pórtico móvel, fabricante Schilling, capacidade de carga 1 000 kg, talha elétrica de corrente, travessa de grua, dimensões sem bombas de vácuo 6 217 x 3 500 x 2 100 mm (L x P x A); peso aprox. 7 000 kg; volume da câmara aprox. 670 l; ligação à rede 400/230 V, 50 Hz, aprox. 100 kVA, aprox. 125 A; Substrato 38 x 31 x 1,08 mm, paletes de transporte 416,9 x 504,5 mm para 144 substratos cada; aquecimento do substrato até 250 °C; Pressão final < 1×10⁻⁷ hPa; gás de processo: árgon, 2 reguladores de caudal Bronkhorst F-201CS, cada um com 500 mln/min; 2 geradores de corrente contínua ADL GX 150/800, cada um com 15 kW; Bombas de vácuo Pfeiffer Vacuum: 4x DUO 35, 2x DUO 65, 2x bombas de pistões rotativos Okta 500, 3x bombas turbo HiPace 1200 U, 1x HiPace 2300 U; válvulas VAT; sistema de controlo Siemens SIMATIC S7 com Panel-PC e WinCC.