Naprava za naparevanje (SPA001) Aurion Anlagentechnik B-VPA-28AUCTION#19683-48

SN: 302343, lastna teža pribl. 7.000 kg, najvišja temperatura 25 °C, priključna moč 100 kVA, premični portalni žerjav, proizvajalec Schilling, nosilnost 1.000 kg, električni verižni dvigalo, žerjavna prečka, dimenzije brez vakuumskih črpalk 6.217 x 3.500 x 2.100 mm (Š x G x V); teža približno 7.000 kg; prostornina komore približno 670 l; priključek na omrežje 400/230 V, 50 Hz, približno 100 kVA, približno 125 A; substrat 38 x 31 x 1,08 mm, transportne palete 416,9 x 504,5 mm za po 144 substratov; ogrevanje substratov do 250 °C; končni tlak < 1×10⁻⁷ hPa; procesni plin argon, 2 regulatorja pretoka Bronkhorst F-201CS, vsak 500 mln/min; 2 enosmerna generatorja ADL GX 150/800, vsak 15 kW; vakuumske črpalke Pfeiffer Vacuum: 4x DUO 35, 2x DUO 65, 2x rotacijska črpalka Okta 500, 3x turbopumpa HiPace 1200 U, 1x HiPace 2300 U; ventili VAT; krmilnik Siemens SIMATIC S7 s panelnim računalnikom in WinCC.