Sputterovací zařízení (SPA001) Aurion Anlagentechnik B-VPA-28AUCTION#19683-48

SN: 302343, vlastní hmotnost cca 7 000 kg, max. teplota 25 °C, příkon 100 kVA, mobilní portálový jeřáb, výrobce Schilling, nosnost 1 000 kg, elektrický řetězový kladkostroj, jeřábová traverza, rozměry bez vakuových pump 6 217 × 3 500 × 2 100 mm (Š × H × V); hmotnost cca 7 000 kg; objem komory cca 670 l; připojení k síti 400/230 V, 50 Hz, cca 100 kVA, cca 125 A; substrát 38 × 31 × 1,08 mm, přepravní palety 416,9 × 504,5 mm, každá pro 144 substrátů; vyhřívání substrátu až na 250 °C; Konečný tlak < 1×10⁻⁷ hPa; procesní plyn argon, 2 regulátory průtoku Bronkhorst F-201CS, každý 500 mln/min; 2 stejnosměrné generátory ADL GX 150/800, každý 15 kW; vakuové pumpy Pfeiffer Vacuum: 4x DUO 35, 2x DUO 65, 2x rotační pístová pumpa Okta 500, 3x turbopumpa HiPace 1200 U, 1× HiPace 2300 U; ventily VAT; řídicí systém Siemens SIMATIC S7 s panelovým počítačem a WinCC.